[elektro] AVR chipek kinyitása....
SZIGETI Szabolcs
szigi at ik.bme.hu
Fri Dec 3 14:48:26 CET 2010
?Hali!
Rendszerint a chip felültén nem szilícium van, hanem valamilyen üvegszerű
nitrit vagy oxid védő réteg, és az nem annyira viszi. Meg persze tudni kell
időben abbahagyni a maratást.
Szabolcs
> "Az áramkört nem bántja?", akartam kérdezni, és mivel sosem csináltam
> ilyet, ezért beütöttem a gugliba a Si maratását:
"Nedves maratáshoz használt maratószerek
Szilícium (Si) maratószerei:
* Izotróp maratáshoz 3 ml HF + 5 ml HNO3 + 3 ml CH3COOH
(fluorsav + salétromsav + ecetsav) vizes oldata
* Anizotróp maratáshoz KOH (kálium-hidroxid) vizes oldata
SiO2 oxidmaró:
* 28 ml HF + 113 g NH4F + 170 ml víz (+ esetleg HNO3)
http://www.ett.bme.hu/upload/1103126448182.4_82a19ef3ce07c3058e2e2466a4ae0417/07litografia.pdf
-----------------------------------------
elektro[-flame|-etc]
More information about the Elektro
mailing list