[elektro] AVR chipek kinyitása....

SZIGETI Szabolcs szigi at ik.bme.hu
Fri Dec 3 14:48:26 CET 2010


?Hali!

Rendszerint a chip felültén nem szilícium van, hanem valamilyen üvegszerű 
nitrit vagy oxid védő réteg, és az nem annyira viszi. Meg persze tudni kell 
időben abbahagyni a maratást.

Szabolcs


> "Az áramkört nem bántja?", akartam kérdezni, és mivel sosem csináltam
> ilyet, ezért beütöttem a gugliba a Si maratását:


"Nedves maratáshoz használt maratószerek
Szilícium (Si) maratószerei:
* Izotróp maratáshoz 3 ml HF + 5 ml HNO3 + 3 ml CH3COOH
(fluorsav + salétromsav + ecetsav) vizes oldata
* Anizotróp maratáshoz KOH (kálium-hidroxid) vizes oldata
SiO2 oxidmaró:
* 28 ml HF + 113 g NH4F + 170 ml víz (+ esetleg HNO3)
http://www.ett.bme.hu/upload/1103126448182.4_82a19ef3ce07c3058e2e2466a4ae0417/07litografia.pdf

-----------------------------------------
          elektro[-flame|-etc] 



More information about the Elektro mailing list